Технико-экономическое сравнение систем Адаптивного и Массового производств
Адаптивная Производственная Система представляет собой новый подход к альтернативной системе полупроводникового производства, как с точки зрения физического оборудования, так и эксплуатации, что послужило причиной возрастающей важности к основным затратам и срокам производства в добавлении к традиционной себестоимости подложек.